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  能恒技专业维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 、美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术,更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修。
  主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等国际品牌 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
Ion Beam Drive : ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500

  DC( 直流系列 ) :

MDX Series: MDX 5 、 MDX 10 、 MDX 20 、 MDX 30 、 MDX-052 、 MDX 1K 、 MDX 1.5K 、 MDX 500 、 MDX Delta ; MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) ; PINNACLE Series: Pinnacle 6KW 、 Pinnacle 12KW 、 Pinnacle 10KW 、 Pinnacle 20KW 、 Pinnacle 8KW 、 Pinnacle 15KW 、 PINNACLE 3000 ; PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW 、 Pinnacle Plus+ Dual output 5KW 、 Pinnacle Plus+ 10KW ; DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW 、 Pinnacle Diamond 10KW 、 Pinnacle Diamond 15KW ; MDX-L Series: MDX-L6 、 MDX-L 6kWHALO 、 MDX-L12 、 MDX-L 12M 、 MDX-L 12M 650 、 MDX-L18 ; SPARC Series: Sparc-le 20 、 Sparc-le V 、 Sparc VS ; E'Wave ; DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR


  AC( 交流 / 中频系列 ) :

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 P E-20K 、 PE-30K 、 PE-1000SG ;   PE II : PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW ; PDX : PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000 、 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ; PDW 600 、 PDW 2200 ; PDP 2500 、 PDP 3500 ; PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 ; Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D

  RF ( 射频系列 ) :

RFG : RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 、 RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV ;   APEX : Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027 、 Apex 5513 、 Apex 7kW/13 、 Apex 10kW/13 、 Apex 3513 、 Apex 10013 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513 、 Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002 、 Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、 Rapid F ;   RFX : RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX ;   RFX II : RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ;   HFG : HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M ;   HFV : HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW ;   Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162 ;   ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW ;   Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300 ; Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v) 、 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 、 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v) 、 Cesar 1350(200v/400v) 、 Cesar 136 、 Cesar 2710 、 Cesar 2720(200v/400v) 、 Cesar 273 、 Cesar 2740(200v/4000v) 、 Cesar 276 、 Cesar 4010 、 Cesar 4020(200v/400v) 、 Cesar 403 、 Cesar 4040(200v/400v) 、 Cesar 405 、 Cesar 6010 、 Cesar 6020(200v/400v) 、 Cesar 603 、 Cesar 605
RFPP : RF-5S 250/500W 、 RF-10 、 RF-10S 、 RF-20 、 RF-20S 、 RF-25 、 RF-30S 、 RF-30H 、 RF-35 、 RF-40 、 RF-50 、 RF-50S 、 RF -10M 、 RF-10MWC 、 RF-20R 、 RF -20M 、 RF -25M 、 LF-5 、 LF-10 、 LF-20 、 LF-30 、 LF-50 、 HF-5 、 HF-10 、 HF-100 、 HF-150

 

阿尔卡特分子泵控制器维修
普发分子泵控制器维修
PFEIFFER维修
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ROFN电源维修
通快电源维修
 

  Match Networks ( 匹配网络 ) :

AL-10 、 AL-15 AM-5 、 AM-10 、 AM-20 、 AM-25 、 AM-30 、 AM-35 、 AM-40 、 AM-50 、 AM-100 、 AM-150 、 AM-250 、 AM-300 、 AMU10E-2 、 AMN-2000 、 AMNPS -2A 、 ATX-600 、 ATX-1250 、 ATX-2500 、 ATL-100 、 AZX-10 、 AZX-40 、 AZX-63 、 AZX-72 、 AZX-90 、 AZX-Dome 、 Navigator 640 、 Navigator 1013 、 Navigator 1013-P15 、 Navigator 1013-L35 、 Navigator 2502 、 Navigator 3013 、 Navigator 3013-ICP 、 Navigator 4027 、 Navigator 4040 、 Navigator 5060 、 Navigator 5513 、 Navigator Dual 5513-2060 、 Navigator Dual 5513-5502 、 Navigator 5513-L80 、 Navigator 5513-T150 、 Navigator 7013-L90 、 Navigator 10013 、 Navigator 10013-L140 、 Navigator 25013 、 Navigator 25027 、 Navigator 2040 、 Navigator 2060 ; VZX-5000 、 VZX-9100 、 TL-5 、 TL-10 、 TL-15 、 LM-5 、 LM-10 、 LM-30 、 LM 8000 、 LM-IPX 、 LM Others 、 Mercury 1K 、 Mercury 2K 、 Mercury 3K 、 Mercury 10K 、   ICP-1KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW 、 ICP-5KW 、 P.5000 、 FTMS-2KW 、 MFA Series 、 FM Series 、 SFM Series ; Dressler VM:VM 0415-AW 、 VM 0450 W-ICP 、 VM 1000A 、 VM 1500AW 、 VM 1500 W-ICP 、 VM 2715-AW 、 VM 5000 W-10T 、 VM 5000 W-2T 、 VM 5000 W-4T 、 VM 5000 W-6T 、 VM 5000 W-8T 、 VM-5000 W-ICP 、 VM 600A


  ENI(MKS) DC( 直流电源 ) :

DCG Series:DCG-75 、 DCG-75E 、 DCG-100 、 DCG-100Z 、 DCG-100E 、 DCG-150 、 DCG-150E 、 DCG-200 、 DCG-200Z 、 DCG-400 、 DCG-600 ; RPG Series:RPG-50 、 RPG-100 、 RPG-200 、 Polara -260A ; OPTIMA Series:OPT-50 、 OPT-100 、 OPT-200 、 OPT-400 、 OPT-600


  ENI(MKS) RF( 射频系列 ) :

DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 、 DPG-10 ; ACG Series:ACG-3 、 ACG-3B 、 ACG-5 、 ACG-6 、 ACG-6B 、 ACG-10 、 ACG-10B 、 2100L -15P ; 5100L , 600L , 600P , 601P ; OEM Series:OEM-6 、 OEM -6A 、 OEM-6B 、 OEM-12 、 OEM -12A 、 OEM -12A -XL 、 OEM-12B 、 OEM-12-B3 、 OEM -25A 、 OEM-25-XL 、 OEM-28B 、 OEM-50 、 OEM-1250 、 OEM-2000 、 TEL-7000-RF ; SPECTRUM Series:B-1513 、 B-3013 、 B-10013 、 B-10002 、 B-5002 、 B-11002 、 B-5513Z 、 B-10513 ; SUREPOWER Series:QL-3513 、 QL-6513 、 QL-10513 、 QL-13013 ; GENESIS(GHW 、 GMW 、 GEW 、 VHF)Series:GHW-12 、 GHW-25 、 GHW-50 、 GHW-80 、 GHW-2527 、 GHW-3040 、 GHW -58A 、 GHW- 85A 、 GMW -25A 、 GMW-25Z 、 GEW-2527 、 GEW-3040 ; NOVA Series:NOVA -25A 、 NOVA-25 、 NOVA -50A ; RACK Series :RACK-AM-300 ; OTHERS : DPGS-10 、 DPGD-10 、 LPG -6A 、 LPG -12A 、 PL1-HF 、 PL2-HF 、 PL3-HF 、 Quanta-10 、 HF-300 、 HF-650 、 HPG-2


  ENI(MKS) 匹配网络 :

D Series:MW-5D 、 MW-10D MW-5D-01B 、 MW-5DM12 、 MW-25D -05M 1 、 MW-25LD 、 MW-50 ; LD Series:MWD-25LD 、 MWD-55LD ; H Series; MWH-5 、 MWH-25 、 MWH-100 ; M Series:MWM-25 ; DUAL Series:MW2-30 ;   OTHERS:MH -1001A 、 MH -2002A 、 RFC-5MW 、 RFC-6 、 MHC-1001 、 MHC-2002 、 VL-400 、 ENI-2500W-13.56

AE(Advanced Energy) MDX Ⅱ -18KW AE(Advanced Energy) Diamond 8KW

AE(Advanced Energy) RFG-1250 AE(Advanced Energy) RFG-1250 AE(Advanced Energy) RFG 2000-2V AE(Advanced Energy) MDX13 13KW

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